Titel Kemisk sammensætning af tyndfilm
Vejleder J. Bøttiger
Fagområde Materialefysik
Abstract I forbindelse med fremstillingen af tyndfilm med bestemte egenskaber er det nødvendigt at have den korrekte kemiske sammensætning (støkiometri) af filmen. Det er derfor vigtigt at kunne måle støkiometrien præcist samt at kunne måle ønskede eller uønskede urenheder i filmen. De mest anvendte teknikker er "Rutherford Backscattering Spectrometry" (RBS), hvor man anvender elastisk spredning af He-ioner fra en 5 MeV-Van der Graaf acceleretor , og "Elastic Recoil Detection Analysis" (ERDA), som er en forholdsvis ny udviklet teknik her på stedet. Her bestråles tyndfilmen med 70 MeV Ag-ioner fra Tandem acceleratoren, samtidig med at de derved elastisk spredte atomer fra filmen detekteres.