Strukturel karakterisering af tyndfilm

Titel Strukturel karakterisering af tyndfilm

Vejleder J. Bøttiger, J. Chevallier

Fagområde Materialefysik

Abstract Den atomare struktur af tyndfilm er alt afgørende for filmens mekaniske, kemiske, elektriske og magnetiske egenskaber. Det er derfor yderst vigtigt at kunne karakterisere filmene ned til atomar opløsning. Dette gøres bl.a. ved hjælp af "Transmission Electron Microscopy" (TEM) og "Scanning Electron Microscopy" (SEM). Typisk er filmene polykrystallinske og såvel størrelsen af de enkelte krystalkorn som orienteringen af disse måles vha. TEM. SEM giver information om overfladens topografi (overfladens struktur). Ydermere kan krystalstrukturen bestemmes gennem detaljerede studier af elektron spredning på krystalgitteret (elektron diffraktion).