Titel Tribologiske egenskaber af tyndfilm
Vejleder J. Bøttiger og medarbejder ved Teknologisk Institut
Fagområde Materialefysik, anvendt fysik
Abstract For industrien er det tyndfilmens tribologiske egenskaber, så som hårdhed, gnidningsmodstand, slid og korrosionsbestandighed, der er interessante. Disse egenskaber er bestemt af fundamentale fysiske parametre som atomar struktur og kemisk sammensætning. Det er derfor vigtigt at kunne måle de tribologiske egenskaber på en dækkende og beskrivende måde, og relatere dem til fremstillings-processen. Sammenhængen mellem disse tribologiske egenskaber og fremstillingsparametrene kan her igennem klarlægges, og gennem kendskab til de fundamentale fysiske processer kan filmens egenskaber optimeres.